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- UPS不间断电源是一种能够提供电力备份和稳定电力输出的设备，可以在电力中断或电力质量不稳定的情况下保护光刻机的正常运行。以下是半导体选用UPS电源的一些建议
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- [行业动态]光刻机为什么要配置UPS电源？2023年07月27日 18:25
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- [行业动态]半导体制造光刻机选择UPS电源的步骤2023年04月28日 17:37
- 光刻机UPS电源需要综合考虑功率容量、输出电压和频率、电池备份时间、电力质量、可靠性和维护以及成本等因素。建议在选择UPS电源时，可以参考以下步骤。
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