UPS电源主要用在半导体生产的哪些环节?
UPS电源主要用在半导体生产的哪些环节?
UPS电源可以保证半导体生产过程中免受电力问题干扰,为关键性设备供电,提高设备安全,满足高可靠性要求,保持设备的稳定性和可靠性。那么,有哪些半导体生产环节是需要配置UPS电源的呢?
半导体生产环节主要分为8个,分别是晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装,其中晶圆加工环节是大量使用UPS电源的环节。在晶圆加工环节中,包含刻蚀、光刻、氧化扩散、单晶炉、沉积、抛光、清洗等环节,内涵大量工业型精密设备,有些设备甚至是进口的,随随便便一台都要几十甚至几百万的价格。这些设备都是按照国网标准生产,对用电环境要求极高,而我国的电网环境并不是时刻安全,自然灾害、发电侧、负荷侧引起的电力故障时有发生。所以,为了保证设备的安全,大部分厂家都会配置UPS电源。
UPS电源可以有效解决电压突变、电压波动、频率漂移、电压跌落、脉冲干扰、雷击尖峰、浪涌、频率震荡等8大电力问题,保障设备安全运行。
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